熱式氣體質(zhì)量流量計的原理主要基于熱擴散原理，并結(jié)合熱傳導定律和恒溫熱源原理來工作。以下是詳細的原理說明：

1. 熱擴散原理：
   • 熱式氣體質(zhì)量流量計利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。具體來說，流量計的傳感器包含兩個基準級的熱電阻（RTD），一個用作熱源（RH），另一個用于測量流體溫度（RMG）。
   • 當氣體流動時，熱源（RH）的熱量會被氣流帶走，導致熱源溫度下降。同時，測量溫度的傳感器（RMG）會感應到被測氣體的溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，使得熱源（RH）與測量溫度的傳感器（RMG）之間的溫度差增大。
   • 通過測量這個溫度差，并結(jié)合微電子控制技術(shù)，可以將溫度差與流量的關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。
2. 熱傳導定律和恒溫熱源原理：
   • 熱傳導定律描述了物質(zhì)內(nèi)部由高溫區(qū)向低溫區(qū)傳遞熱量的規(guī)律。在熱式氣體質(zhì)量流量計中，加熱絲（相當于熱源）將熱量傳遞給氣體，導致氣體溫度升高。
   • 恒溫熱源原理則是指一個恒定溫度的物體可以作為恒定的熱源，使得在其周圍流動的氣體保持恒定的溫度。然而，在熱式氣體質(zhì)量流量計中，由于氣體流動速度的變化，測溫絲所測得的溫度也會有所變化。
3. 結(jié)構(gòu)和工作過程：
   • 熱式氣體質(zhì)量流量計主要由加熱絲、測溫絲、外殼和電路板等組成。加熱絲和測溫絲分別被安裝在管道內(nèi)部，用于測量管道內(nèi)部氣體的傳導能力。
   • 當氣體通過管道時，加熱絲不斷地將熱量傳遞給氣體，使得氣體的溫度升高。同時，測溫絲則用于測量管道內(nèi)部氣體的溫度。通過比較不同時間點所測得的溫度差，可以確定氣體流量。
4. 工作特點：
   • 熱式氣體質(zhì)量流量計具有精確性高、響應速度快等特點，能夠?qū)崟r檢測氣體的流量。此外，它還可以用于測量濕氣體的質(zhì)量流量，并克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計在測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的零點漂移問題。

綜上所述，熱式氣體質(zhì)量流量計通過測量氣體流動時加熱絲與測溫絲之間的溫度差，結(jié)合熱擴散原理、熱傳導定律和恒溫熱源原理，實現(xiàn)了對氣體流量的精確測量。